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半導體微電子行業制程以及生產設備與空氣中氣體化學分子污染物接觸產生那些后果？

更新時間：2025-09-15

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　　半導體微電子行業制程以及生產設備與空氣中氣體化學分子污染物接觸產生那些后果？

　　把晶圓、LCD或者OLED的基板長時間暴露在潔凈室大環境中會導致空氣中化學氣態污染物粘附在基本表面，導致大幅度降低產品良率以及產品性能，增加成本，因此必須祛除揮發性有機、無機化合物以及空氣中其它顆粒物

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